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產(chǎn)品分類技術(shù)文章/ article
為使濺射系統(tǒng)所用靶的數(shù)量減少，盡量用一個靶就能濺射沉積制取符合成分及性能要求的合金薄膜，可以采用合金靶、復(fù)合鑲嵌靶、以及采用多靶濺射等。一般說來，在放電穩(wěn)定狀態(tài)下，按照靶的成分，各種構(gòu)成原子分別受到濺射作用，濺射鍍膜比真空蒸鍍和離子鍍的一個...
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